光刻

掩膜光刻:

无掩膜光刻:

• 计算光刻
• 电子束光刻 EBL
• 纳米压印 NIL
• 纳米球光刻 NSL
• 针尖纳米蚀刻
• 数字光刻
• 激光直写光刻